国内唯一！黄石这家企业靠“一口气”，打破国外垄断
走进湖北玖恩智能科技的无尘车间
一排排精密设备平稳运行
这套设备如同“巨型净化器”
工业气体通入后
能稳定产出芯片制造专用的超高纯特种气体
这种特种气体
是芯片生产不可或缺的材料
就像人类离不开空气
一旦超高纯气体供应被卡住
整个芯片制造工序都将“窒息”
扎根黄石的玖恩智能
自主攻克多项被国外垄断的核心技术
整套设备实现国产替代
补齐了本地芯片产业链的关键一环
核心突破：从“卡脖子”到自主“呼吸”
芯片制造
对气体纯净度的要求近乎苛刻：
常规产线气体需达到9个9的纯度
相当于10座大型体育场里
只允许有1颗异色乒乓球
高端光刻机配套用气的标准
更是拉高至12个9
一丁点杂质
都可能造成产线数亿元损失
长期以来，氯化氢、溴化氢等60余种特种气体的提纯填料和高温裂解工艺，一直掌握在美、日企业手中。国内晶圆厂只能高价采购进口设备，交付动辄数月，供应链完全受制于人。
“国外越是封锁，我们越要自主突破。”企业研发总监蔡文亮直言，早在公司2020年注册前，技术团队就已提前布局，2021年第一代自研纯化设备完成样机测试并正式量产。
整套提纯设备的核心是内部的定制填料，不同配方分别负责去除水汽、油污、酸性杂质和碳氢化合物。但海外没有任何公开技术资料，耐腐蚀、不粉化、强吸附等关键性能，只能靠团队一次次试错摸索。
最难攻关的是氯化氢提纯填料技术。行业硬性规定，气体水分必须稳定控制在十亿分之十五以内。研发人员每调整一次原料配比，都要走完密封、吸附、纯度检测等全套流程，单次试验就要耗费好几天。多轮配方调试下来，实验室堆满废弃样品，不少研发人员一度想过放弃。
企业组建20人专职攻坚小组，24小时轮班守在实验室，通宵试验成了常态。与此同时，依托政府搭建的校企合作平台，武汉理工大学、武汉科技大学、湖北理工学院10余名材料专业教授、博士常驻厂区，将高校前沿理论与工厂实操紧密结合，逐一破解技术难点。
“当初氮气催化剂我们自己埋头试了几个月毫无进展，本地院校博士入驻后，提出全新的复合改性思路，仅一个多月就做出了合格样品。”蔡文亮坦言。历经近两年配方迭代，氯化氢特气提纯填料终于稳定量产，玖恩智能由此成为国内唯一掌握这套成套技术、能批量供货设备的企业。
不止特种填料，600℃超高温氢气纯化技术、光刻机专用XCDA保护气、超临界二氧化碳提纯技术等，同样领跑国内，比肩国际头部企业。
目前
玖恩智能的XCDA纯化设备
已顺利通过
美国应特格国际权威检测认证
彻底解决了
高端光刻机镜头高纯保护用气“卡脖子”难题
设备已在国内多家头部半导体工厂
落地应用
市场扩容：生产线跑出“加速度”
核心技术落地
直接带动产能、产值跨越式增长
“加班赶货是常态，
客户上门验收设备，
从两月一次变成每月都来。”
生产经理李潇笑着介绍
2026年上半年
企业产值已超2025年全年
客户数量逐年快速攀升：2022年仅寥寥几家，2023年突破百家，2024年超200家，截至目前，累计合作客户已超300家。产品覆盖全流量规格，最小机型每小时处理10标方氮气，还造出了国内首台每小时23000标方的超大流量纯化器，适配12英寸大型晶圆生产线。
目前
国内十大半导体龙头企业中
已有8家将玖恩智能列为供应商
对比海外设备
国产方案优势突出：
交付周期压缩至2个月
采购成本更低
本地技术团队可快速上门维保
彻底解决了进口设备
售后响应慢、维修周期长的痛点
企业的发展版图还在持续拓宽。短期，深耕半导体提纯设备主业，迭代高温裂解、大流量特种纯化装备；中长期，向上下游延伸，自主研发高纯过滤器、耐腐蚀特种阀门、高精度气体检测仪，从单一设备生产商转型为一站式超高纯气体系统服务商。
技术应用的边界也在不断拓展。未来，高纯气体纯化技术不只局限于芯片制造，光伏、光纤预制棒、精细化工、新能源、航空航天等高端产业的市场空间将持续扩容。
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鄂公网安备 42010602004343号
